中頻真空鍍膜設備由于頻率高電流大，電流在導體流動時有一個集膚效應，電荷會聚集在電導物的表面積聚，這樣會使得電導發熱。這時必須進行降溫冷卻，方法是對中孔管作為導體的中間通入冷凍水。另外真空鍍膜設備的圓柱靶也要使用冷凍水進行冷卻，因為磁控濺射靶在發射時，會產生高溫會使射槍變形，所以它設有一個夾套，可以通入冷凍水冷卻射槍。因此，在應用中，為真空鍍膜機配置可以產生冷凍水的冷水機設備，是可以使達到高精度、高效率控制溫度的目的。
冷水機是一種使水冷卻降溫的設備，能提供恒溫、恒流、恒壓的冷凍水。其工作原理是冷水機與需冷卻設備連接之后，組成了一個水循環系統。首先，通過冷水機制冷系統將水冷卻降溫，再由水泵將降溫后的冷凍水送入需冷卻的設備，由冷凍水在設備內將其產生的熱量帶走后溫度會升高，再回流到冷水機內，如此循環，便可達到設備冷卻的作用。冷卻水溫可根據要求作自動調節。
冷水機設有獨立的水循環制冷降溫系統，冷凍水出水溫度不會受氣溫及環境的影響，水溫在5℃ ～30℃ 范圍內調節控制，因而可以達到高精度、高效率控制溫度的目的，所以使用冷水機能有效的控制真空鍍膜機的工作溫度，以保證鍍件的高質量。相比較下，使用自然水和冷卻水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響，而且此方式控制是極不穩定的。
